普發氦質譜檢漏儀

應用(Use)七、氦質譜檢漏儀真空焊接爐檢漏 （江蘇無錫某設備廠）

一(One)、真空焊接爐檢漏原因
真空焊接爐 (vacuum brazing furnace) 使用(Use) Pfeiffer 普發羅茨泵機組 (DUO 250 + WKP2000) 抽真空，要(Want)求真空度需要(Want)到(Arrive)達 1x10-5 mbar 左右真空環境下才能有效工作(Do)，不(No)能達到(Arrive)真空度，或者抽速較慢，都有可能是(Yes)由于(At)存在(Exist)漏點所緻，故對于(At)真空焊接爐的(Of)檢漏尤爲(For)必要(Want)。

二、真空焊接爐檢漏方法
Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀提供兩種檢漏模式，正壓模式(sniffer mode) 及負壓模式 (vacuum mode)， 真空焊接爐多采用(Use)檢漏儀的(Of)負壓模式即真空模式檢漏，将氦質譜檢漏儀與真空系統連接，最好連接在(Exist)排氣口附近（也就是(Yes)泵組的(Of)進氣口處），真空系統都會有泵組在(Exist)抽真空，所以(By)在(Exist)泵的(Of)進氣口處連接氦質譜檢漏儀是(Yes)在(Exist)氣流的(Of)運動方向上(Superior)，很容易有一(One)部分分壓分給氦質譜檢漏儀，從而達到(Arrive)檢漏的(Of)效果。

如圖氦質譜檢漏儀真空焊接爐檢漏應用(Use)：




三、 真空焊接爐檢漏形式說明
使用(Use)氦質譜檢漏儀真空模式檢測真空焊接爐是(Yes)業界所采用(Use)的(Of)最廣泛的(Of)檢測方法，真空焊接爐使用(Use)真空系統抽真空, 氦質譜檢漏儀連接在(Exist)真空爐的(Of)排氣端，由于(At)氣流都會走向真空系統，如果噴氦氣有漏的(Of)話，都會經過檢漏儀抽氣口，氦質譜檢漏儀檢測到(Arrive)氦氣後就可以(By)在(Exist)漏率上(Superior)有一(One)個(Indivual)變化，從而達到(Arrive)測量效果。

應用(Use)八、氦質譜檢漏儀高壓真空斷路器檢漏（遼甯沈陽某變壓器廠）

一(One)、 高壓真空斷路器檢漏原因
高壓真空斷路器（high voltage vacuum switchgear）要(Want)保證産品性能可靠和(And)穩定，還要(Want)考慮到(Arrive)對人(People)造成的(Of)危害，所以(By)一(One)定要(Want)進行測漏；以(By)前高壓真空斷路器的(Of)檢漏方法爲(For) SF6 檢漏，但是(Yes)成本和(And)氣體消耗都很高，并且如果有洩露的(Of)話對環境會産生(Born)污染，如果和(And)水氣混合的(Of)話會形成高腐蝕性溶劑，所以(By)使用(Use)氦質譜檢漏儀可以(By)避免以(By)上(Superior)問題。如果使用(Use)氦氣回收系統，則會大(Big)大(Big)降低使用(Use)成本。爲(For)現今廣泛使用(Use)的(Of)測漏方法。

二、 高壓真空斷路器檢漏方法
Pfeiffer HLT560 氦質譜檢漏儀提供兩種檢漏模式：正壓模式（sniffer mode）及真空模式（vacuum mode）。一(One)般來(Come)說，高壓真空斷路器普遍采用(Use) sniffer 模式。檢測時(Hour)必須對開關容器内進行抽真空，排出(Out)裏面的(Of)水蒸氣和(And)其它雜質，然後沖入一(One)定壓力的(Of)氦氣，氦質譜檢漏儀使用(Use) Sniffer 模式，報警值設定在(Exist) 1.0 x10-5 mbar l/s。當然，這(This)裏的(Of)示蹤氣體爲(For) He4。在(Exist)實際測漏過程中，如果高壓真空斷路器有漏的(Of)話，氦氣檢漏儀的(Of)吸槍在(Exist)靠近時(Hour)數值會明顯變化，并超過設定值，确認有漏。

啓動氦氣回收系統-----氦氣充入被檢工件----檢漏儀吸槍對工件找漏點。





 
三、高壓真空斷路器檢漏形式說明
該方法檢漏操作(Do)簡單，氦氣可回圈利用(Use)，首先将高壓真空斷路器内的(Of)空氣用(Use)真空泵抽出(Out)，到(Arrive)達真空度約爲(For) 1.0 x10-2 mbar 即可，然後充入純氦氣，壓力到(Arrive)達 1.5 bar 左右即高于(At)一(One)個(Indivual)大(Big)氣壓（目的(Of)是(Yes)使高壓真空斷路器内外形成壓差，便于(At)檢漏）。檢漏結束後通過氦氣回收系統回收氦氣，需要(Want)注意的(Of)是(Yes)這(This)種檢漏方式對氦氣回收系統的(Of)氣密性提出(Out)了(Got it)很高的(Of)要(Want)求，若該系統有漏，會影響到(Arrive)氦質譜檢漏儀對被檢工件的(Of)讀數，因此要(Want)求檢漏的(Of)場所必須通風效果良好。氦氣回收系統工作(Do)性能可靠的(Of)話會有 95% 的(Of)氦氣可回收再利用(Use)，大(Big)大(Big)降低了(Got it)使用(Use)成本。

應用(Use)九、氦質譜檢漏儀真空滲碳爐檢漏應用(Use)（江蘇昆山某熱處理廠）

一(One)、真空滲碳爐檢漏原因
真空滲碳爐 (Vacuum Cementite Furnace) 使用(Use)神港精機（shinko seiki）羅茨泵機組(SR-75BⅡ+ SMB-C15) 抽真空，要(Want)求真空度需要(Want)到(Arrive)達 1x10-3 mbar 左右真空環境下才能有效工作(Do)，
由于(At)滲碳處理需要(Want)溫度大(Big)約 900℃ 下進行，如果密封不(No)好的(Of)話工件很容易氧化，造成整爐的(Of)工件保費，損失巨大(Big)。所以(By)真空滲碳爐的(Of)密封性非常重要(Want)，檢漏非常關鍵。

二、真空滲碳爐檢漏方法
Pfeiffer HLT560 氦質譜檢漏儀提供兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正壓模式 (sniffer mode)，真空滲碳爐多采用(Use)檢漏儀的(Of)負壓模式既真空模式檢漏，将氦質譜檢漏儀與真空系統連接，最好連接在(Exist)排氣口附近（也就是(Yes)真空泵組的(Of)進氣口處），真空系統都會有泵組在(Exist)抽真空，所以(By)在(Exist)泵的(Of)進氣口處連接氦質譜檢漏儀是(Yes)在(Exist)氣流的(Of)流向上(Superior)，很容易有一(One)部分分壓分給氦質譜檢漏儀，從而達到(Arrive)檢漏的(Of)效果。

如圖氦質譜檢漏儀檢漏示意：

 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀連接在(Exist)機械泵組的(Of)進氣口處，首先啓動泵組，對滲碳爐抽真空，同時(Hour)啓動氦質譜檢漏儀，此時(Hour)質譜檢漏儀上(Superior)面的(Of) Pfeiffer EVB 025 角閥一(One)定處于(At)關閉狀态，當泵組抽真空到(Arrive)達一(One)定真空度（最高背壓爲(For) 25 mbar業界最高）時(Hour)，可以(By)進行檢漏操作(Do)。



檢漏工作(Do)準備就緒，泵組抽真空到(Arrive)達一(One)定真空度後，氦質譜檢漏儀爲(For)待機狀态，EVB 025 角閥處于(At)關閉狀态，此時(Hour)可以(By)按下檢漏儀啓動鍵，氦質譜檢漏儀開始測漏，然後慢慢開啓角閥，觀察漏率值的(Of)變化，由于(At)檢漏儀和(And)真空滲碳爐的(Of)腔體聯通，有真空度的(Of)變化，所以(By)漏率值也會産生(Born)變化，等到(Arrive)漏率值平穩，再将角閥慢慢開到(Arrive)最大(Big)，等待數值穩定，可以(By)噴氦氣進行檢漏。

當噴氦氣後氦質譜檢漏儀顯示漏率值超過設定值，并且有明顯的(Of)報警聲音，表明此處有漏點，然後在(Exist)漏電處做标記，在(Exist)進行其他(He)部位的(Of)檢漏。

當檢測中找到(Arrive)漏電後，由于(At)有氦氣進入真空系統，所以(By)漏率值會緩慢上(Superior)升，爲(For)了(Got it)更快速檢測下一(One)個(Indivual)漏電，可以(By)按下顯示幕左下方的(Of) ZERO 鍵，對檢漏儀進行本底清零，随即可以(By)查找下一(One)個(Indivual)漏點，達到(Arrive)節省時(Hour)間的(Of)效果。

三、真空滲碳爐檢漏形式說明
使用(Use)氦質譜檢漏儀真空模式檢測大(Big)型真空爐是(Yes)業界所采用(Use)的(Of)最廣泛的(Of)檢測方法，真空焊接爐使用(Use)真空系統抽真空，氦質譜檢漏儀連接在(Exist)真空爐的(Of)排氣端，由于(At)氣流都會走向真空系統，如果噴氦氣有漏的(Of)話，都會經過檢漏儀抽氣口，氦質譜檢漏儀檢測到(Arrive)氦氣後就可以(By)在(Exist)漏率上(Superior)有一(One)個(Indivual)變化，從而達到(Arrive)測量效果。

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