HVA 高真空閘閥應用(Use)于(At) OLED 鍍膜機
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HVA 高真空閘閥應用(Use)于(At) OLED 鍍膜機

HVA 高真空閘閥應用(Use)于(At) OLED 鍍膜機
OLED 鍍膜機主要(Want)面向有機半導體照明客戶, 需要(Want)鍍膜機性能更穩定, 器件效率更高, 性價比高,

HVA 高真空閘閥應用(Use)
一(One)般科研用(Use)鍍膜機的(Of)基片尺寸在(Exist) 4”和(And)6”大(Big)小, 本底真空度要(Want)求達到(Arrive) 5*10-7mbar 或 5*10-8mbar, 這(This)時(Hour)需要(Want)配置分子泵系統或低溫泵系統來(Come)實現高真空度的(Of)需求, 所以(By)對于(At)生(Born)産 OLED 鍍膜機的(Of)客戶, 爲(For)了(Got it)節省抽空時(Hour)間和(And)防止基片的(Of)污染, 會選擇在(Exist) LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣, 由于(At)兩腔室工作(Do)的(Of)真空度要(Want)求不(No)同, 會在(Exist)腔室之間增加高真空閥門來(Come)隔離系統.

有時(Hour)科研設備并不(No)配置 LOADLOCK, 但出(Out)于(At)泵組快速抽空或方便檢修要(Want)求, 還是(Yes)會根據分子泵的(Of)進氣口徑來(Come)配置高真空閥門隔離系統. 上(Superior)海伯東美國(Country) HVA 真空閥門已廣泛應用(Use)于(At) OLED 鍍膜機
超高真空閘閥
上(Superior)圖是(Yes)某 OLED 鍍膜機廠家配置上(Superior)海伯東美國(Country) HVA 高真空閘閥, 我(I)司根據鍍膜系統的(Of)自動化要(Want)求, 配置 HVA 11000 系列尺寸以(By) 4”, 6”, 8”閥門口徑爲(For)主的(Of)标準不(No)鏽鋼氣動高真空閘閥,
 

上(Superior)海伯東美國(Country) HVA 高真空閘閥 11000 系列産品

HVA

 閥門材質:

 - 閥門主體

 304 不(No)鏽鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 - 超高真空

 銅墊圈 / 氟橡膠

 真空:

 - 壓力範圍

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關閉

 1 bar ( 任意位置 )

 - 開啓前最大(Big)壓力

 ≤ 30 mbar

 烘烤溫度(不(No)含電磁閥):

 - 佛橡膠密封

 150 °c, 可選配置最大(Big) 250 °c

 - 銅墊圈密封

 閥門關閉 200 °c, 閥門打開 150 °c

 - 驅動方式

 手動 60 °c, 氣動 60 °c

 - 氣體

 80 psig (5.5 bar)

 - 電磁

 4.0 Watts

 - 供電

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,最大(Big)

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用(Use)壽命: 100,000 啓閉次數 (具體視實際使用(Use)情況決定)

 公稱通徑: DN 16 - 800 mm


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