普發氦質譜檢漏儀

Pfeiffer 分子泵組應用(Use)于(At)低溫真空探針台
真空探針台一(One)般用(Use)于(At)複雜, 高速精密器件進行表面觀測以(By)及各種性能測試的(Of)儀器, 通過測試可以(By)保障産品的(Of)質量和(And)可靠性并縮減研發時(Hour)間和(And)器件制造工藝的(Of)成本. 探針台主要(Want)應用(Use)于(At)半導體行業, 光電行業, 集成電路以(By)及封裝的(Of)測試

爲(For)什麽需要(Want)真空環境?
1. 真空探針台通過搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤及真空吸附探針座的(Of)使用(Use), 通過空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由于(At)晶圓在(Exist)超低溫情況下進行探測, 水氣将會出(Out)現并且将會凍結晶圓. 水氣會影響測量, 導緻測量失敗. 真空腔中的(Of)水氣需要(Want)通過真空泵排出(Out).
3. 當晶圓加熱超過 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者更高溫度時(Hour), 會發生(Born)很強烈的(Of)氧化. 溫度越高, 越加大(Big)矽片表面的(Of)氧化, 氧化将使晶圓降低電學性, 物理性和(And)機械性. 真空腔中的(Of)氧氣需要(Want)通過分子泵組來(Come)排出(Out).

上(Superior)海伯東渦輪分子泵組應用(Use)于(At)低溫真空探針台客戶案例: 某企業通過上(Superior)海伯東推薦采購德國(Country) Pfeiffer 經濟型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵結合, 整機設計, 即插即用(Use), 提供清潔, 低振動, 穩定的(Of)高真空環境.

上(Superior)海伯東 Pfeiffer 普發分子泵組 HiCube Eco 技術規格

泵組型号	進氣法蘭	分子泵 型号	抽速 氮氣l/s	極限真空  hPa	前級泵型号	前級泵 抽速 m³/h
Hicube 80 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 80	35	1X10-7	MVP 015-2	0.5
	DN 63 CF-F	HiPace 80	67	1X10-8	MVP 015-2	1
	DN 63 ISO-K	HiPace 80	67	1X10-7	MVP 015-2	1

Pfeiffer 渦輪分子泵組整體模塊化設計, 内部集成前級泵和(And)分子泵, "即插即用(Use)", 抽速範圍 35 至 685 L/S, 極限真空 5X10-10 hPa, 提供經濟型分子泵組 ECO, 标準型分子泵組 Classic 和(And)高性能渦輪分子泵組 Pro 滿足不(No)同應用(Use), 推薦搭配 Pfeiffer 真空計共同使用(Use).

鑒于(At)客戶信息保密, 若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解分子泵組詳細信息或讨論, 請參考以(By)下聯絡方式
上(Superior)海伯東: 葉女士                                  台灣伯東: 王女士
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