普發氦質譜檢漏儀

渦輪分子泵掃描電鏡 SEM 抽真空
上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer HiPace Plus 系列渦輪分子泵廣泛集成在(Exist)掃描電子顯微鏡 SEM 設備中.
掃描電子顯微鏡 SEM, 簡稱掃描電鏡原理是(Yes)利用(Use)電子束掃描物體表面實現成像. 空氣的(Of)存在(Exist)會使的(Of)電子束變型, 影響掃描效果,因此要(Want)抽真空, 高效的(Of)渦輪分子泵有利于(At)保持樣品室的(Of)清潔度; 電子束系統中的(Of)燈絲在(Exist)普通大(Big)氣中會迅速氧化而失效, 所以(By)除了(Got it)在(Exist)使用(Use) SEM 時(Hour)需要(Want)在(Exist)真空環境下, 平時(Hour)還需要(Want)以(By)純氮氣或惰性氣體充滿整個(Indivual)真空室.

HiPace Plus 系列渦輪分子泵是(Yes)爲(For)掃描電子顯微鏡 ( 掃描電鏡 SEM ) 和(And)高端質譜行業量身定做的(Of)産品, 分子泵低振動和(And)低磁場設計, 廣泛集成在(Exist)泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設備裏.
Pfeiffer HiPace Plus 渦輪分子泵目前在(Exist)售型号 HiPace 300 Plus 和(And) HiPace 700 Plus

以(By) HiPace 300 舉例,主要(Want)技術參數如下:

型号	渦輪分子泵 HiPace 300			渦輪分子泵 HiPace 300 Plus
允許環境磁場	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 3 mT	≤ 3 mT		≤ 3 mT
最大(Big)允許磁場	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT		5.5 mT
噪音	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)		≤50 dB(A)
安裝方式	任意位置安裝			垂直,法蘭向上(Superior)
進氣口	DN 100 ISO-K	DN 100 CF-F	DN 100 ISO-F	DN 100 ISO-K		DN 100 ISO-K	DN 100 ISO-K
極限真空度	<1X10-7 hPa	< 5X10-10 hPa	< 1X10-7 hPa	<1X10-7 hPa		< 5X10-10 hPa	< 1X10-7 hPa
Ar 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
H2 抽速	220 l/s	220 l/s	220 l/s	220 l/s		220 l/s	220 l/s
He 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
N2 抽速	260 l/s	260 l/s	260 l/s	260 l/s		260 l/s	260 l/s
Ar 壓縮比	> 1X1011
H2 壓縮比	9X105
He 壓縮比	> 1X108
N2 壓縮比	> 1X1011
分子泵全速時(Hour) Ar 氣體流量	7 hPa l/s	7 hPa l/s	7 hPa l/s	2 hPa l/s		2 hPa l/s	2 hPa l/s
分子泵全速時(Hour) He 氣體流量	10 hPa l/s	10 hPa l/s	10 hPa l/s	8 hPa l/s		8 hPa l/s	8 hPa l/s
分子泵全速時(Hour) H2 氣體流量	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s		> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s
分子泵全速時(Hour) N2 氣體流量	14 hPa l/s	14 hPa l/s	14 hPa l/s	5 hPa l/s		5 hPa l/s	5 hPa l/s
Ar 前級真空	25 hPa	25 hPa	25 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
H2 前級真空	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa		8,5 hPa	8,5 hPa
He 前級真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
N2 前級真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa

Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大(Big) 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的(Of)壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時(Hour)間可以(By)達到(Arrive) 100,000 小時(Hour)! 普發分子泵提供複合軸承分子泵和(And)五軸全磁浮分子泵二大(Big)系列滿足不(No)同應用(Use), 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和(And)幹泵共同使用(Use). 更多分子泵典型應用(Use) >>

鑒于(At)客戶信息保密, 若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解分子泵詳細信息或讨論, 請參考以(By)下聯絡方式
上(Superior)海伯東: 葉女士                                  台灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 107             T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                          F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
上(Superior)海伯東版權所有, 翻拷必究！