普發氦質譜檢漏儀

Pfeiffer 分子泵在(Exist)LOW-E（低輻射玻璃）生(Born)産線中的(Of)應用(Use)
LOW-E全名Low emissivity，是(Yes)低輻射鍍膜玻璃。相對熱反射玻璃而言是(Yes)一(One)種新型節能玻璃。目前國(Country)際上(Superior)普遍采用(Use)真空磁控濺射鍍膜技術（離線法）生(Born)産Low-E玻璃。伯東公司銷售的(Of)德國(Country)普發 Pfeiffer 分子泵成功應用(Use)于(At)此。

原理：玻璃垂直放置在(Exist)架子上(Superior)，送入10-1帕數量級的(Of)真空環境中，通入适量的(Of)工藝氣體（惰性氣體Ar或反應氣體O2、N2），并保持真空度穩定。将靶材Ag、Si等嵌入陰極，并在(Exist)與陰極垂直的(Of)水平方向置入磁場從而構成磁控靶。以(By)磁控靶爲(For)陰極，加上(Superior)直流或交流電源，在(Exist)高電壓的(Of)作(Do)用(Use)下，工藝氣體發生(Born)電離，形成等離子體。其中，電子在(Exist)電場和(And)磁場的(Of)共同作(Do)用(Use)下，進行高速螺旋運動，碰撞氣體分子，産生(Born)更多的(Of)正離子和(And)電子；正離子在(Exist)電場的(Of)作(Do)用(Use)下，達到(Arrive)一(One)定的(Of)能量後撞擊陰極靶材，被濺射出(Out)的(Of)靶材沉積在(Exist)玻璃基片上(Superior)形成薄膜。爲(For)了(Got it)形成均勻一(One)緻的(Of)膜層，陰極靶靠近玻璃表面來(Come)回移動。爲(For)了(Got it)取得多層膜，必須使用(Use)多個(Indivual)陰極，每一(One)個(Indivual)陰極均是(Yes)在(Exist)玻璃表面來(Come)回移動，形成一(One)定的(Of)膜厚。

德國(Country)普發 PFEIFFER 憑借其120多年的(Of)真空制造經驗和(And)全球範圍内的(Of)售後服務和(And)技術支持赢得LOW-E市場客戶的(Of)青睐，德國(Country)馮.阿登納(VON ARDENNE)是(Yes)最典型的(Of)客戶。PFEIFFER 分子泵的(Of)LOE-E生(Born)産線使用(Use)在(Exist)信義玻璃，南玻等中國(Country)玻璃制造巨頭。
Pfeiffer 分子泵優點：

• 多抽速供客戶選擇，抽速爲(For)1,000至2,000L/S
• 對于(At)H₂,He和(And)Ar,CF₄有高的(Of)抽速
• 安裝位置從0到(Arrive)90度，90到(Arrive)180度
• 高的(Of)氣體流通量，即使是(Yes)Ar,CF₄
• 集成的(Of)TC 1200驅動單元可直接連接電源
• 抗腐蝕能力供選擇
• 豐富的(Of)接口界面：RS-485以(By)及遠程控制；profibus或者Devicenet可供選擇
• 擁有IP 54和(And)Semi S2 等級
• 穩定安全的(Of)轉子軸承系統
• 符合UL,CSA以(By)及TUV認證
• 簡單的(Of)安裝