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超薄納米塗層等離子表面處理設備
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超薄納米塗層等離子表面處理設備

超薄納米塗層等離子表面處理設備
上(Superior)海伯東代理比利時(Hour) Europlasma 等離子機, 真空條件下, 通過工藝 Nanofics ® 或 PlasmaGuard® 在(Exist)材料淺表面實現低壓等離子表面聚合或者原子層沉積, 從而賦予材料新的(Of)功能, 不(No)影響材料本身的(Of)性能, 對三維結構以(By)及複雜形狀的(Of)材料表面都可實現均勻性塗覆, 形成疏水, 疏油, 親水等功能的(Of)超薄納米塗層, 厚度從 5nm 至 500nm 不(No)等. 典型應用(Use): 微流控芯片内流道表面處理.

超薄納米塗層等離子表面處理設備型号:

型号

腔體體積

腔體尺寸

托盤數量

托盤尺寸

托盤可用(Use)面積

前驅體數量

Junior Nanofics®

50L

500mm x 400mm x

250mm

1

360mm x

360mm x

40mm

0.12㎡

1

CD 600 Nanofics®

282L

900mm x

570mm x

550mm

3

765mm x

512mm x

40mm

0.39m²

1

CD 1000 Nanofics®

490L

1000mm x

700mm x

700mm

3

858mm x

672mm x

40mm

0.58m²

1

CD 600 PlasmaGuard®

282L

900mm x

570mm x

550mm

3

765mm x

512mm x

40mm

0.39m²

3

CD 1000 PlasmaGuard®

490L

1000mm x

700mm x

700mm

3

858mm x

672mm x

40mm

0.58m²

3

CD 1836 Nanofics®

1836L

1600mm x

850mm x

1350mm

4（垂直）

760mm x

270mm x

1060mm

0.22m²（卡槽）

1


超薄納米塗層等離子表面處理設備設計
控制系統: 工業 PLC 與17英寸觸摸屏
過程與儀表圖(P&ID): 實時(Hour)顯示設備狀态
用(Use)戶管理: 基于(At)用(Use)戶級别的(Of)登錄, 對于(At)操作(Do)員來(Come)說,工程師模式接入
配方管理: 配方數量不(No)限, 工藝參數獨特
系統診斷功能: 用(Use)于(At)故障處理和(And)維護
報警管理: 系統對警報進行管理并提醒操作(Do)人(People)員
發電機: 具有自動負載匹配能力, 頻率 13.56 kHz
真空測量: 高質量的(Of)真空測量設備
氣體管道: 多個(Indivual)氣體管道, 适用(Use)于(At)各種工藝氣體 (O2, N2, Ar, CF4, He, H2 等)
氣體截止閥: 每條氣體管路上(Superior)的(Of)截止閥, 防止洩漏
質量流量控制器: 用(Use)于(At)氣體控制的(Of)電子調節質量流量控制器
節流閥: 自動控制所需的(Of)壓力-流量比
洗滌系統: 廢氣過濾
CE 認證

上(Superior)海伯東 Europlasma 等離子表面處理設備主要(Want)應用(Use)
1. 薄膜過濾: 锂電池行業, 精密儀器等的(Of)疏水, 疏油塗層, 駐電極
2. 無紡布和(And)功能性紡織物: 運動戶外産品的(Of)疏水, 疏油塗層
3. 可穿戴電子産品, 無線耳機, 手環, 手表, 助聽器和(And) PCB 元器件疏水塗層, 電子屏蔽塗層, 蝕刻, 清洗與活化
4. 醫療, 生(Born)命科學領域的(Of)微流控芯片疏水塗層, 醫用(Use)導管, 口罩, 針座活化, 人(People)體植入, 細胞培養瓶活化. TC 處理.

Europlasma 等離子表面處理設備

若您需要(Want)進一(One)步的(Of)超薄納米塗層等離子表面處理設備了(Got it)解詳細信息或讨論, 請參考以(By)下聯絡方式:
上(Superior)海伯東: 葉小姐                                   台灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-975-571-910
qq: 2821409400 
www.hakuto-vacuum.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw

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