普發氦質譜檢漏儀

渦輪分子泵應用(Use)于(At)分子束外延 MBE
分子束外延 Molecular Beam Epitaxy, 簡稱 MBE 是(Yes)一(One)種晶體生(Born)長技術, 首先将待成長的(Of)芯片放置在(Exist)超高真空腔體中 ~10-10Torr, 和(And)将需要(Want)生(Born)長的(Of)單晶物質按元素的(Of)不(No)同分别放在(Exist)噴射爐中, 當爐溫升至一(One)定溫度時(Hour), 爐中的(Of)材料會以(By)原子束或分子束的(Of)形式蒸發出(Out)來(Come), 此時(Hour)基闆也被加熱至一(One)适當的(Of)溫度, 分子束射至基闆時(Hour), 就會與基闆表面的(Of)原子結合而生(Born)長出(Out)極薄的(Of), 可薄至單原子層水平, 單晶體和(And)幾種物質交替的(Of)超晶格結構. 分子束外延 MBE 設備在(Exist)生(Born)長二維材料以(By)及拓撲材料, 氧化物方面都有不(No)錯的(Of)性能. 如: III-V 族, II-VI 族, Si SiGe, 金屬與金屬氧化物, 以(By)及 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN, CIGS, OLED 等.

分子束外延 MBE 系統需要(Want)在(Exist)超高真空環境中進行, 對真空度要(Want)求及其高, 真空度可到(Arrive) 2×10-10 torr, 同時(Hour)需要(Want)分子泵低振動, 低噪音, 清潔無油确保超高真空的(Of)穩定性已保證晶格的(Of)生(Born)長和(And)後期的(Of)探測分析.

上(Superior)海伯東分子束外延 MBE 客戶案例一(One): 某真空系統集成商搭建 MBE 設備, 經過我(I)司推薦采購 Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 300 Pro. 客戶的(Of) MBE 系統可用(Use)于(At)最大(Big)單片 4"或 3X2"的(Of)襯底, 進行 III-V,II-VI 及氮化物, 氧化物等各類材料的(Of)外延生(Born)長.


上(Superior)海伯東分子束外延 MBE 客戶案例二: 根據真空腔室大(Big)小和(And)客戶要(Want)求的(Of)抽空時(Hour)間, 上(Superior)海伯東推薦某真空設備商 MBE 設備搭配 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700, 真空可達到(Arrive)10-10 Torr. HiPace 700 尺寸 Φ208 x 224mm, 重量 17.4 kg, 方便集成于(At)設備中!

渦輪分子泵 HiPace 700 接口: DN 160 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011 抽速N2: 685 l/s

上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大(Big) 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的(Of)壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時(Hour)間可以(By)達到(Arrive) 100,000 小時(Hour)! 普發分子泵提供複合軸承分子泵和(And)五軸全磁浮分子泵二大(Big)系列滿足不(No)同應用(Use), 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和(And)幹泵共同使用(Use). 推薦分子泵典型應用(Use) >>

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