普發氦質譜檢漏儀

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
上(Superior)海伯東德國(Country)普發 Pfeiffer 真空鍍膜工藝監測器 SPM 220 爲(For)鍍膜工藝的(Of)定性和(And)定量氣體分析提供了(Got it)完美的(Of)解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和(And)專門開發的(Of)鍍膜工藝監測器離子源, 在(Exist)高達 10-2 hPa 的(Of)壓力下, 實現了(Got it)精确到(Arrive)分鍾的(Of)工藝氣體分析. Pfeiffer 同時(Hour)提供一(One)個(Indivual)帶有壓差孔闆法蘭的(Of)型号供選擇, 可以(By)實現在(Exist)高達 10 hPa 的(Of)壓力範圍裏進行直接的(Of)工藝氣體分析.

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優勢
用(Use)于(At)瞬時(Hour)過程監測的(Of)鍍膜工藝監測器離子源
用(Use)于(At) H2, O2, H2O 和(And) CO2 的(Of)優秀檢測限
對測量結果的(Of)最小化背景影響
提供壓力高達 10 hPa 的(Of)壓差型号
多重操作(Do)允許帶單個(Indivual) PC 的(Of)多個(Indivual)質譜儀系統進行數據評估
靈活集成的(Of)緊湊尺寸
通過各種數字和(And)模拟輸入和(And)輸出(Out), 使系統集成方便而靈活

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應用(Use)
半導體生(Born)産,玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發電,研發

鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 組成：渦輪分子泵+四級杆質譜+離子源

鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 優勢：
鍍膜工藝監測器離子源，适用(Use)于(At)瞬時(Hour)過程監測
對氣體H2、O2、H2O 和(And) CO2 優秀檢測極限
對測量結果的(Of)最小化背景影響
壓力高達 10 hPa 的(Of)壓差版本
多重操作(Do)允許帶單個(Indivual) PC 的(Of)多個(Indivual)質譜儀系統進行數據評估
緊湊設計，易于(At)系統集成
通過各種數字和(And)模拟輸入和(And)輸出(Out)
Pfeiffer監測質譜 SPM 220 技術參數：

SPM 系統控制	BRU 220
電壓	115-230 V
前級泵	MVP 020-3
四極控制	QME 220
帶 SPM 離子源的(Of)分析儀	QMA 220
探測器	C-SEM/Faraday
杆系統：材料	不(No)鏽鋼
杆系統：直徑	6 mm
杆系統：長度	100 mm
檢測極限（氩中）：二氧化碳	< 100 ppb
檢測極限（氩中）：氧氣	< 100 ppb
檢測極限（氩中）：氮	< 100 ppb
檢測極限（氩中）：水	< 3000 ppb
檢測極限（氩中）：水蒸氣	< 500 ppb or < 6000 ppb
渦輪分子泵	帶有 TC 110 RS 的(Of) HiPace 80
質量數	1-100 amu or 1-200 amu
過程壓力至	1 hPa or 10 hPa or 8hPa
連接法蘭（入口）	DN 40 CF-F
重量	13 kg

 

若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解詳細信息或讨論，請參考以(By)下聯絡方式：
上(Superior)海伯東：葉女士                         台灣伯東：王女士
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