上(Superior)海 渦輪分子泵 HiPace® 1200-2800 IT閱讀數: 21872
Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT
上(Superior)海伯東銷售維修 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT, 抽速範圍 1200-2300 l/s 的(Of)全系列緊湊型複合軸承渦輪分子泵, 對小分子量氣體 H2, He 和(And)大(Big)分子量氣體 Ar, CF4 都有很高的(Of)抽速. 由于(At)這(This)些分子泵通常在(Exist)惡劣的(Of)工藝環境中使用(Use), Pfeiffer 提供針對具體應用(Use)的(Of)定制解決方案: 例如, 用(Use)于(At)抗腐蝕的(Of) Kepla®塗層, 用(Use)于(At)防止高壓區域工藝沉積的(Of)溫度管理系統, 以(By)及在(Exist)輻射下使用(Use)的(Of)外部電子設備. 對标 Edwards STP 磁懸浮分子泵
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 特點
小分子氣體的(Of)高壓縮比
堅固的(Of)複合轉子懸架
對工藝沉積的(Of)抵抗力強
帶節流閥和(And)閥門的(Of)集成淨化氣體系統
可用(Use)于(At)帶有外部電子設備的(Of)抗輻射泵
溫度管理系統
标準認證 SEMI S2, UL, CSA 和(And) TÜV
防護等級 IP54 符合工業環境應用(Use)要(Want)求
适用(Use)于(At)各種嚴苛工藝如刻蝕, 濺鍍, 分子泵耐粉塵
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 技術參數：
|
分子泵型号 |
分子泵連接尺寸 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啓動壓強hPa |
極限壓力 |
全轉速氣體流量hPa l/s |
啓動時(Hour)間 |
重量 |
|||
|
進氣口 |
排氣口 |
氮氣 |
氦氣 |
氫氣 H2 |
氮氣 |
氮氣N2 |
hPa |
氮氣N2 |
min |
kg |
|
|
200 |
40 |
1250 |
1300 |
1100 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
27 – 40 |
|
|
HiPace® 1500 C |
250 |
40 |
1400 |
1350 |
1150 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
29 – 41 |
|
200 |
40 |
1450 |
1,650 |
1700 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
33 – 34 |
|
|
250 |
40 |
1900 |
2,000 |
1850 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
34 – 47 |
|
|
HiPace® 2800 IT |
250 |
40 |
2300 |
2900 |
2600 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
18 |
4 |
62 |
HiPace: 憑借成熟和(And)優化的(Of)軸承系統以(By)及泵速和(And)壓縮比之間的(Of)良好組合, 标準的(Of) HiPace 分子泵适用(Use)于(At)所有類型的(Of)應用(Use)
HiPace C: 爲(For)腐蝕性應用(Use)而設計. 得益于(At)轉子上(Superior)的(Of) Kepla®塗層, HiPace C 分子泵對各種工藝化學品具有一(One)定的(Of)抵抗力.
HiPace I: 專爲(For)離子注入工藝設計. 渦輪分子泵複雜的(Of)轉子設計使小分子氣體(氫氣)的(Of)抽速得到(Arrive)了(Got it)優化, 确保了(Got it)離子注入工藝的(Of)最佳工藝适應性.鎳塗層轉子确保了(Got it)分子泵的(Of)堅固性.
HiPace T: 溫度管理系統可以(By)減少工藝沉積的(Of)數量. 通過提高高壓區的(Of)溫度, 可以(By)減少冷凝現象. 該功能可與 C-版本（HiPace CT）相結合, 以(By)提供對工藝化學品的(Of)耐腐蝕性以(By)及對泵内工藝沉積的(Of)耐受性.
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 應用(Use)領域：
1. 分析儀器 2. 半導體(超高真空排氣台) 3. 鍍膜 4. 工業 5. 科研 (粒子加速器)
上(Superior)海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大(Big) 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的(Of)壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時(Hour)間可以(By)達到(Arrive) 100,000 小時(Hour)! 普發分子泵提供複合軸承分子泵和(And)五軸全磁浮分子泵二大(Big)系列滿足不(No)同應用(Use), 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和(And)幹泵共同使用(Use). 推薦分子泵典型應用(Use) >>
若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解分子泵詳細信息, 請參考以(By)下聯絡方式
上(Superior)海伯東: 葉小姐 台灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107 T: +886-3-567-9508 ext 161
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