上(Superior)海 HVA 真空插闆閥應用(Use)于(At)半導體管道中閱讀數: 5933
美國(Country) HVA 真空插闆閥在(Exist)半導體管道中的(Of)應用(Use)
半導體後端工藝制程中需要(Want)使用(Use)到(Arrive)例如 Ar, O2 或是(Yes)其他(He)特殊氣體, 氣體管路系統 ( 真空管路 ) 的(Of)作(Do)用(Use)是(Yes)把各種氣體在(Exist)滿足工藝制程要(Want)求的(Of)純度, 壓力和(And)流量的(Of)前提下安全穩定的(Of)供應到(Arrive)工藝設備内. 上(Superior)海伯東美國(Country) HVA 插闆閥廣泛用(Use)于(At)高真空或超高真空的(Of)氣體輸送環節, 用(Use)來(Come)改變氣流方向, 調節氣流量大(Big)小, 切斷或接通管路, 起到(Arrive)真空隔離密封等作(Do)用(Use). 美國(Country) HVA 6寸, 8寸 真空插闆閥已廣泛應用(Use)于(At)半導體氣體管路中! 上(Superior)海伯東是(Yes)美國(Country) HVA 插闆閥在(Exist)中國(Country)地區唯一(One)指定總代理商.
半導體管道插闆閥應用(Use)示意圖 現場圖
上(Superior)海伯東美國(Country) HVA 插闆閥優勢
1. 滿足高真空（1E10-9 mabr）和(And)超高真空（1E10-10 mbar）應用(Use)
2. HVA 插闆閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅固耐用(Use), 超長使用(Use)壽命, 可達 1,000,000 啓動次數
4. 清潔和(And)高密封性保證 HVA 插闆閥與前級泵, 渦輪分子泵等完美聯用(Use)
5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10-9 mbar l/S
6. 可選擇驅動方式多, 手, 氣,電動可選
7. 有效保護分子泵. 氣動和(And)電動插闆閥均帶信号反饋裝置, 與分子泵和(And)腔體連用(Use)時(Hour)可以(By)起到(Arrive)截斷一(One)些特殊氣體, 保護分子泵的(Of)作(Do)用(Use)
8. 标準或定制法蘭滿足不(No)同應用(Use)
9. 國(Country)際标準, 插闆閥整機美國(Country)設計, 制造, 組裝, 原裝進口
美國(Country) HVA 超過 40年的(Of)閥門研發生(Born)産經驗, 與友廠對比, HVA 插闆閥閥體和(And)部件均是(Yes)在(Exist)真空爐中一(One)體釺焊完成, 消除了(Got it)虛漏的(Of)可能.
若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解詳細信息或讨論, 請參考以(By)下聯絡方式
上(Superior)海伯東: 葉女士 台灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
www.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
上(Superior)海伯東版權所有, 翻拷必究!