磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
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磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M

Pfeiffer 普發磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速範圍在(Exist) 1400-2800l/s 的(Of)磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監測系統和(And)實時(Hour)的(Of)轉子位移自動修正功能确保長時(Hour)間的(Of)穩定性和(And)可靠性, 同時(Hour)運行時(Hour)也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應用(Use)于(At)半導體, 鍍膜和(And)離子刻蝕等行業. 對标 Edwards STP 磁懸浮分子泵.

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優點
1. 清潔無油, 大(Big)抽速
2. 免維護低成本保養費
3. 更低的(Of)振動和(And)噪音
4. 不(No)受限的(Of)任意方向安裝
5. 無工藝污染


Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

P
feiffer
磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術參數

分子泵型号

分子泵連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啓動壓強hPa

極限壓力

全轉速氣體流量hPa l/s

啓動時(Hour)間

重量

進氣口

排氣口

氮氣
N2

氦氣He

氫氣 H2

氮氣
N2

氮氣N2

hPa

氮氣N2

min

kg

ATH 1603 M

ATH 1600 MT

250

40

1,400

970

540

> 1X108

1.7

< 6X10–9

67

6

42

ATH 2303 M

ATH 2300 MT

250

40

2,150

1,800

1,100

> 1X108

2.9

< 6X10–9

67

8

68

ATH 2800 M

ATH 2800 MT

250

40

2,200

2,400

1,550

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATH 3200 M

ATH 3200 MT

320

40

2,800

2,500

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATP 2300 M

320

40

1,950

2,050

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

37

8

60

MT 型号的(Of)分子泵配有集成加熱帶可以(By)進行溫度控制. 其自帶加熱系統和(And)水冷系統同時(Hour)作(Do)用(Use), 可以(By)确保泵的(Of)工作(Do)溫度相對恒定 (最高工作(Do)溫度75°C), 同時(Hour)盡可能減少化學物或副産物在(Exist)泵體内因冷凝而産生(Born)的(Of)沉積.

上(Superior)海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大(Big) 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的(Of)壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時(Hour)間可以(By)達到(Arrive) 100,000 小時(Hour)! 普發分子泵提供複合軸承分子泵和(And)五軸全磁浮分子泵二大(Big)系列滿足不(No)同應用(Use), 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和(And)幹泵共同使用(Use). 推薦分子泵典型應用(Use) >>

若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解分子泵詳細信息, 請參考以(By)下聯絡方式
上(Superior)海伯東: 葉小姐                                  台灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267                       T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                           F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267                        M: +886-939-653-958

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