磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M閱讀數: 22157
Pfeiffer 普發磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速範圍在(Exist) 1400-2800l/s 的(Of)磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監測系統和(And)實時(Hour)的(Of)轉子位移自動修正功能确保長時(Hour)間的(Of)穩定性和(And)可靠性, 同時(Hour)運行時(Hour)也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應用(Use)于(At)半導體, 鍍膜和(And)離子刻蝕等行業. 對标 Edwards STP 磁懸浮分子泵.
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優點
1. 清潔無油, 大(Big)抽速
2. 免維護低成本保養費
3. 更低的(Of)振動和(And)噪音
4. 不(No)受限的(Of)任意方向安裝
5. 無工藝污染
P
feiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術參數
分子泵型号 |
分子泵連接尺寸 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啓動壓強hPa |
極限壓力 |
全轉速氣體流量hPa l/s |
啓動時(Hour)間 |
重量 |
|||
進氣口 |
排氣口 |
氮氣 |
氦氣He |
氫氣 H2 |
氮氣 |
氮氣N2 |
hPa |
氮氣N2 |
min |
kg |
|
ATH 1600 MT |
250 |
40 |
1,400 |
970 |
540 |
> 1X108 |
1.7 |
< 6X10–9 |
67 |
6 |
42 |
ATH 2300 MT |
250 |
40 |
2,150 |
1,800 |
1,100 |
> 1X108 |
2.9 |
< 6X10–9 |
67 |
8 |
68 |
ATH 2800 MT |
250 |
40 |
2,200 |
2,400 |
1,550 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
ATH 3200 MT |
320 |
40 |
2,800 |
2,500 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
320 |
40 |
1,950 |
2,050 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
37 |
8 |
60 |
MT 型号的(Of)分子泵配有集成加熱帶可以(By)進行溫度控制. 其自帶加熱系統和(And)水冷系統同時(Hour)作(Do)用(Use), 可以(By)确保泵的(Of)工作(Do)溫度相對恒定 (最高工作(Do)溫度75°C), 同時(Hour)盡可能減少化學物或副産物在(Exist)泵體内因冷凝而産生(Born)的(Of)沉積.
上(Superior)海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大(Big) 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的(Of)壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時(Hour)間可以(By)達到(Arrive) 100,000 小時(Hour)! 普發分子泵提供複合軸承分子泵和(And)五軸全磁浮分子泵二大(Big)系列滿足不(No)同應用(Use), 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和(And)幹泵共同使用(Use). 推薦分子泵典型應用(Use) >>
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上(Superior)海伯東: 葉小姐 台灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 T: +886-3-567-9508 ext 161
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