普發氦質譜檢漏儀

真空測量就是(Yes)真空度的(Of)測量，而真空度是(Yes)指低于(At)大(Big)氣壓力的(Of)氣體稀薄程度。以(By)壓力表示真空度是(Yes)由于(At)曆史上(Superior)沿用(Use)下來(Come)的(Of)，并不(No)十分合理。壓力高意味着真空度低；反之，壓力低與真空度高相對應。

真空計（真空規）就是(Yes)依據各種原理制作(Do)成用(Use)來(Come)測量真空狀态下壓力大(Big)小的(Of)真空傳感器。根據中華人(People)民共和(And)國(Country)國(Country)家标準（GB7665—87），傳感器（Transducer/Sensor) 的(Of)定義是(Yes)：能感受規定的(Of)被測量并按照一(One)定的(Of)規律轉換成可用(Use)輸出(Out)信号的(Of)器件或裝置。傳感器是(Yes)一(One)種以(By)一(One)定的(Of)精确度把被測量對象轉換爲(For)與之有确定對應關系的(Of)、便于(At)應用(Use)的(Of)某種物理量的(Of)測量裝置。真空計（真空規）就是(Yes)以(By)一(One)定的(Of)精度将真空壓力轉化爲(For)有确定關系的(Of)電壓電流值的(Of)測量裝置，是(Yes)傳感器的(Of)一(One)種，在(Exist)一(One)個(Indivual)系統中的(Of)功能和(And)溫度計，磁力計，光感計等等，沒有什麽本質的(Of)區别。

上(Superior)海伯東德國(Country)普發Pfeiffer提供全套的(Of)真空測量産品，既有單獨測量，及時(Hour)供有關人(People)員讀取的(Of)，也有可供自動化系統采用(Use)的(Of)；既有測量低真空的(Of)，也有測量高真空的(Of)；既有正常環境下使用(Use)的(Of)，也有特殊環境如高輻射，腐蝕氣體等情況下使用(Use)的(Of)。

選用(Use)真空計，一(One)般要(Want)考慮以(By)下幾個(Indivual)方面：
1），信号的(Of)接受。真空計将真空壓力轉換成電信号後，可有兩種形式被系統接受，可以(By)是(Yes)數字信号，可以(By)是(Yes)模拟信号。根據系統的(Of)需要(Want)來(Come)選擇。
2），真空測量範圍。不(No)同的(Of)真空計，量程是(Yes)不(No)一(One)樣的(Of)，我(I)們(Them)需要(Want)根據不(No)同工藝的(Of)不(No)同真空要(Want)求來(Come)選擇對應的(Of)真空計。真空包裝用(Use)的(Of)真空計和(And)半導體鍍膜用(Use)的(Of)真空計肯定是(Yes)不(No)一(One)樣類型的(Of)産品。
3），使用(Use)的(Of)環境。很重要(Want)一(One)點就是(Yes)有無輻射，還有就是(Yes)有無腐蝕，污染是(Yes)否嚴重等等都需要(Want)考慮，才能選擇一(One)款适用(Use)的(Of)真空計。
4），要(Want)求的(Of)精度。如果選用(Use)的(Of)一(One)款真空計測出(Out)來(Come)的(Of)數據，根本不(No)能讓你相信，精度達不(No)到(Arrive)要(Want)求，那還不(No)如不(No)測。或者誤差超出(Out)了(Got it)工藝的(Of)要(Want)求，就會給生(Born)産過程帶來(Come)麻煩，産品質量受影響，也是(Yes)得不(No)償失的(Of)。

下面詳細介紹，Pfeiffer 德國(Country)普發爲(For)不(No)同的(Of)使用(Use)情況提供的(Of)可供選擇的(Of)産品
一(One)， 根據系統接口類型
1， 客戶系統選用(Use)通用(Use)的(Of)工業總線标準，如RS-232，RS-485，Profibus 等等，Pfeiffer 德國(Country)普發可提供數字型真空計 DigiLine^TM  系列産品供使用(Use)。數字型真空計采用(Use)數字信号接口，屬于(At)通用(Use)标準接口，可與系統接口直接連接。具有信号穩定，傳輸距離遠的(Of)特點，布線經濟方便，系統組織靈活多變

型号	連接尺寸 DN	測量範圍mbar		極限壓力	工作(Do)環境溫度
		最大(Big)值	最小值	bar	°C
CPT 200	DN 16 ISO-KF	2000	1	4	+5 - +50°C
PPT 200	DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F	1000	1.10-4	4	+5 - +50°C
RPT 200	DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F	1200	1. 10-4	4	+5 - +50°C
HPT 200	DN 40 ISO-KF DN 16 CF-F	1000	5. 10-10	4	+5 - +50°C
MPT 200	DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F	1000	5.10E-9	4	+5 - +50°C

Pfeiffer 同時(Hour)提供通訊協議，客戶可在(Exist)PC或PLC上(Superior)自己編寫解碼軟件，進行數據處理或數據顯示。也可使用(Use) Pfeiffer 提供的(Of)專用(Use)處理軟件DokuStar Plus。

2， 客戶系統沒有選用(Use)任何标準工業總線，隻是(Yes)用(Use)普通的(Of) I/O 來(Come)獲取數據，Pfeiffer可提供皮拉尼真空計 ActiveLine 系列産品供使用(Use)。這(This)系列産品隻要(Want)客戶系統控制部分有模拟信号通道，客戶就可以(By)讀取到(Arrive)真空壓力數值的(Of)大(Big)小。Pfeiffer 提供的(Of) ActiveLine 産品系列輸出(Out)的(Of)模拟信号爲(For)：0-10V的(Of)電壓，客戶系統得到(Arrive)這(This)個(Indivual)信号後，根據 Pfeiffer 提供的(Of)計算公式，進行信号計算轉換，可以(By)得到(Arrive)對應的(Of)真空度。

ActiveLine 模拟信号真空計系列産品如下表：

産品類型	産品名稱	測量最大(Big)值	測量最小值
Active piezo transmitter	APR 2XX	55000 mbar	1E-1 mbar
Active capacitative transmitter	CMR XXX	1100 mbar	1E-5 mbar
Active Pirani transmitter	TPR 28X	1000 mbar	5E-4 mbar
Active Pirani/capacitative transmitter	PCR 260	1500 mbar	5E-4 mbar
Active cold cathode transmitter	IKR 2XX	2E-2 mbar	5E-11 mbar
Active Pirani/cold cathode transmitter	PKR 2XX	1000 mbar	5E-9 mbar
Active hot cathode transmitter	IMR 265	1000 mbar	2E-6 mbar
Active Pirani/Bayard-Alpert transmitter	PBR 260	1000 mbar	5E-10 mbar

上(Superior)述兩種接口形式真空計的(Of)讀數，除了(Got it)用(Use)對應的(Of)接口被系統控制器PC或PLC接收外，還可以(By)用(Use)Pfeiffer對應的(Of)控制器連接，進行離線式的(Of)真空數據讀取。數字型真空計DigiLine^TM 系列産品對應的(Of)Pfeiffer控制器爲(For)：DPG 101，DPG 109。其中DPG 101可控制1個(Indivual) DigiLine^TM真空計，顯示1個(Indivual)真空計的(Of)讀數，DPG 109控制9個(Indivual) DigiLine^TM真空計，顯示9個(Indivual)真空計的(Of)讀數。ActiveLine 皮拉尼真空計系列産品對應的(Of)有3種控制器：TPG 261，TPG 262，TPG 256 A，無論何種皮拉尼真空計都可以(By)接到(Arrive)這(This)3種控制器上(Superior)，可自動識别，自動轉換

二， 根據測量範圍
真空壓力大(Big)小的(Of)劃分：
粗略真空 (Rough vacuum) :1000 ~ 1 (mbar) 
中度真空 (Medium vacuum): 1 ~ E-3 (mbar)       
高真空 (High vacuum): E-3 ~ E-7 (mbar)       
超高真空 (Ultra-high vacuum): < E-7 (mbar)

對高低不(No)同的(Of)真空進行測量，所用(Use)到(Arrive)的(Of)真空計類型也各不(No)相同。如下表：

真空範圍	真空計選擇
粗略真空	應力薄膜真空計（APR 250，APR 260，APR 265，APR 267等等）、 電容薄膜真空計（CMR 361，CMR 362，CMR 271，CMR 272等等）
中真空	電容薄膜真空計（CMR 363，CMR 364，CMR 273，CMR 274等等）、 皮拉尼（Pirani)真空計（PPT 100，TPR 280，TPR 281等等）
高真空	冷陰極離子真空計（IKR 251，IKR 261 IKR 270等等）、 熱陰極離子真空計（IMR 265，PBR 260等等）

 Pfeiffer提供從正常大(Big)氣壓1000 mbar到(Arrive)超高真空1E-11mbar全範圍的(Of)真空測量計，既有分段測量真空計，也有全量程真空計，可根據需要(Want)選用(Use)。
三， 根據使用(Use)環境

1，腐蝕性環境

如果所測真空對象中有酸性，堿性等腐蝕性氣體，如SO₂，NH₃，CL₂等等，選用(Use)的(Of)真空配件包括真空計，都必須是(Yes)抗腐蝕的(Of)。不(No)然會造成測量不(No)準，真空計損壞等等一(One)系列問題。

Pfeiffer的(Of)數字型真空計DigiLine^TM系列都不(No)防腐蝕，所以(By)在(Exist)腐蝕性環境中無法使用(Use)，隻能選用(Use)皮拉尼真空計ActiveLine系列産品。Pfeiffer的(Of)皮拉尼真空計系列包含防腐蝕真空計，覆蓋全部真空測量範圍。如應力（Piezo)薄膜真空計全系列，電容薄膜真空計全系列，皮拉尼（Pirani)真空計TPR 281，冷陰極離子真空計全系列，熱陰極離子真空計等等，都具有防腐蝕功能。

Pfeiffer的(Of)防腐蝕真空計，是(Yes)通過使用(Use)防腐蝕探測元件，防腐蝕密封件，接口部分選用(Use)不(No)鏽鋼，來(Come)實現整個(Indivual)真空計的(Of)防腐蝕功能。

2，強輻射環境

對于(At)在(Exist)輻射環境中使用(Use)的(Of)真空計，Pfeiffer還提供了(Got it)一(One)個(Indivual)系列産品：模拟型真空計ModulLine。ModulLine隻有探頭部分，沒有任何電子線路部分，所以(By)适用(Use)于(At)高輻射環境中。這(This)類産品必須要(Want)和(And)真空計控制器TPG 300一(One)起使用(Use)，TPG 300内的(Of)控制闆是(Yes)可以(By)根據客戶的(Of)需要(Want)靈活配置的(Of)。TPG 300的(Of)輸出(Out)接口闆既有工業标準總線接口如RS-232，RS-485等，也有繼電器功能輸出(Out)。
3，污染嚴重的(Of)環境
對于(At)測量對象是(Yes)有粉塵和(And)污染嚴重的(Of)情況，一(One)個(Indivual)選用(Use)抗污染能力強的(Of)真空計，如應力（Piezo)薄膜真空計全系列，電容薄膜真空計全系列。另一(One)個(Indivual)隻能在(Exist)安裝位置和(And)安裝方式上(Superior)去考慮，盡量減輕污染對真空計的(Of)影響。使用(Use)過程中也需要(Want)加強檢查和(And)保養，才能達到(Arrive)較好的(Of)使用(Use)效果。如對高真空和(And)超高真空的(Of)測量，隻能選用(Use)離子真空計，而離子真空計對污染和(And)濺鍍性氣體都比較敏感，這(This)種情況下，就隻能在(Exist)安裝和(And)使用(Use)上(Superior)去想辦法了(Got it)。

四， 要(Want)求的(Of)精度和(And)精密度

一(One)款傳感器的(Of)精度和(And)精密度，受測量原理及傳感器生(Born)産質量影響，改良程度是(Yes)有一(One)定限度的(Of)。真空計的(Of)測量精度主要(Want)是(Yes)受測量原理的(Of)影響，特别是(Yes)高真空及超高真空的(Of)測量，受空氣成分的(Of)影響很大(Big)，甚至需要(Want)用(Use)系數來(Come)修正。Pfeiffer 系列真空計的(Of)精度如下表：

真空計類型	精度	精密度	測量範圍
應力薄膜真空計	1-2%	-	低真空
電容薄膜真空計	0.2-0.5%	-	低中真空
皮拉尼真空計	±15%	±2%	中真空
冷陰極真空計	±30%	±5%	高真空
熱陰極真空計	15%	5%	高真空

從上(Superior)表中可以(By)看出(Out)：對低中真空的(Of)測量精度，要(Want)比對中高真空的(Of)測量精度高，其中電容薄膜真空計的(Of)精度要(Want)比壓力（Piezo)薄膜真空計的(Of)精度高一(One)個(Indivual)數量級。對高真空和(And)超高真空的(Of)測量，熱陰極真空計的(Of)精度和(And)精密度都要(Want)比冷陰極真空計高。

上(Superior)海伯東德國(Country)普發Pfeiffer提供了(Got it)真空測量的(Of)全系列産品包括：通訊接口，測量範圍，是(Yes)否防腐蝕，苛刻的(Of)使用(Use)環境，精度要(Want)求等等。根據客戶的(Of)要(Want)求，總能在(Exist)Pfeiffer的(Of)産品中找到(Arrive)合适的(Of)。

若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解普發真空計詳細信息或讨論, 請參考以(By)下聯絡方式：
上(Superior)海伯東: 葉小姐                                   台灣伯東: 王小姐
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