上(Superior)海 分子泵内部油潤滑與脂潤滑區别
分子泵内部油潤滑與脂潤滑區别
上(Superior)海伯東 Pfeiffer 複合軸承渦輪分子泵, 内部陶瓷軸承采用(Use)油潤滑方式. 油潤滑對比脂潤滑主要(Want)優勢如下：
1. 給軸承降溫, 延長了(Got it)分子泵的(Of)使用(Use)壽命
2. 減少軸承滾珠磨損
3. 清洗分子泵軸承, 避免污染物附着在(Exist)軸承上(Superior)
脂潤滑不(No)具備以(By)上(Superior)優點, 而且易殘留, 容易導緻分子泵的(Of)故障率高
上(Superior)海伯東 HiPace 系列渦輪分子泵技術規格
|
型号 |
進氣口 DN |
壓縮比 |
極限真空 hPa |
抽速 l/s |
|||||||||
|
N2 |
He |
H2 |
Ar |
N2 |
He |
H2 |
Ar |
||||||
|
25 |
3X106 |
3X103 |
3X102 |
2.5X108 |
< 5X10-5 |
10 |
6 |
3.7 |
11.5 |
||||
|
40 /63 |
1X1011 |
1.3X107 |
1.4X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
67 |
58 |
48 |
66 |
||||
|
100 |
1X1011 |
1X108 |
9X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
260 |
255 |
220 |
255 |
||||
|
160 |
>1X1011 |
3X107 |
14X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
685 |
655 |
555 |
665 |
||||
|
200 |
>1X108 |
2X104 |
6X103 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1250 |
1300 |
1100 |
1200 |
||||
|
250 |
>1X108 |
3X105 |
2X104 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1900 |
2000 |
1850 |
1800 |
||||
極限真空爲(For)實驗室理想值
上(Superior)海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和(And) Nema 12 認證. 特别适用(Use)于(At)質譜分析, 電子顯微術, 測量技術, 粒子加速和(And)等離子體物理方面的(Of)應用(Use). 除了(Got it)用(Use)于(At)分析, 真空工藝和(And)半導體技術外, 還可用(Use)于(At)真空鍍膜, 研發以(By)及工業領域.
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