渦輪分子泵 HiPace® 80閱讀數: 34325
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80
上(Superior)海伯東銷售維修德國(Country)普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到(Arrive) 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對所有氣體的(Of)高抽速和(And)更高壓縮比使其廣泛應用(Use)于(At)真空行業. 集成驅動電路, 适用(Use)于(At)工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器監控運算數據盡可能保證分子泵的(Of)安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以(By)任意位置安裝. 自然風冷, 多種配件可選滿足廣泛應用(Use).
渦輪分子泵 HiPace 80 特性
穩健性工業設計和(And)經過實踐證明的(Of)高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的(Of)安裝空間要(Want)求
分子泵高氣流量和(And)高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要(Want)求
可應用(Use)于(At)腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和(And) UL 認證
渦輪分子泵 HiPace 80 技術參數
進氣口 |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
|
圖片 |
|
|
|
||||
分子泵控制器 |
型号 |
标配 |
标配 |
标配 |
選配 |
選配 |
選配 |
抽速 |
Ar L/S |
66 |
66 |
30 |
66 |
66 |
30 |
H2 L/S |
48 |
48 |
38 |
48 |
48 |
38 |
|
He L/S |
58 |
58 |
41 |
58 |
58 |
41 |
|
N2 L/S |
67 |
67 |
35 |
67 |
67 |
35 |
|
壓縮比 |
Ar |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
H2 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
|
He |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
|
N2 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
|
全轉速時(Hour)氣體流量 |
Ar hPa l/s |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
H2 hPa l/s |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
|
He hPa l/s |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
|
N2 hPa l/s |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
|
極限壓力 |
hPa |
<1X10-7 |
<5X10-10 |
<1X10-7 |
<1x10-7 |
<5x10-10 |
<1x10-7 |
最大(Big)預抽真空 |
N2 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
電壓 |
VDC |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
最大(Big)電流 |
A |
4.6 |
4.6 |
4.6 |
5.5 |
4.6 |
4.6 |
轉速± 2 % |
RPM |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
聲噪 |
dB(A) |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
允許最大(Big)磁場 |
mT |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
啓動時(Hour)間 |
min |
1.7 |
1.7 |
1.7 |
3 |
3 |
3 |
重量 |
kg |
2.4 |
3.8 |
2.4 |
2.1 |
3.5 |
2.1 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以(By)使分子泵在(Exist)輻射環境中使用(Use)
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80 套裝:
上(Superior)海伯東提供完整的(Of)分子泵套裝供您選擇, 包含一(One)台 HiPace 80 分子泵主機和(And)控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的(Of)應用(Use), 可以(By)安裝在(Exist)所有情況下并輕松調試渦輪分子泵. 套裝内配置如下:
分子泵 |
分子泵電源與控制器連接線 |
風扇 |
OmniControl 200 |
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
分子泵應用(Use) HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘餘氣體分析
半導體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生(Born)物技術
上(Superior)海伯東客戶分子泵應用(Use)一(One):HiPace 80, HiPace 400 用(Use)于(At)分子束外延 MBE, 主要(Want)針對金屬薄膜及材料器件的(Of)氧化物外延生(Born)長.
上(Superior)海伯東客戶分子泵應用(Use)二:HiPace 80, HiPace 300 用(Use)于(At)SPECS 近常壓光電子能譜儀設備
上(Superior)海伯東客戶分子泵應用(Use)三: HiPace 80, HiPace 300 用(Use)于(At)自主搭建真空腔體
渦輪分子泵 HiPace 80 目前在(Exist)售型号:
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
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上(Superior)海伯東: 葉小姐 台灣伯東: 王小姐
M: +86 13918837267 ( 微信同号 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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