上(Superior)海 氦質譜檢漏儀半導體用(Use)配管配件檢漏閱讀數: 5677
氦質譜檢漏儀半導體用(Use)配管配件檢漏
上(Superior)海伯東客戶某專門生(Born)産半導體配管配件工程公司, 定制不(No)鏽鋼管, 配件, 閥門和(And)歧管廣泛應用(Use)于(At)半導體廠務端, 用(Use)于(At)輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現場量測管路, 然後對不(No)同口徑的(Of)管路進行焊接, 因半導體行業的(Of)苛刻使用(Use)要(Want)求, 配管配件漏率值需要(Want)達到(Arrive) <1E-9mar l/s, 因此需要(Want)進行洩漏檢測, 已驗收管件是(Yes)否達标. 客戶對檢漏效率要(Want)求較高, 需要(Want)在(Exist)生(Born)産線使用(Use)且方便移動操作(Do)并進行快速的(Of)洩露測試, 經過上(Superior)海伯東推薦最終選擇移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 和(And) ASM 392!
上(Superior)海伯東半導體用(Use)配管配件氦質譜檢漏方法:
考慮到(Arrive)管路銜接長, 需要(Want)滿足客戶快速的(Of)檢漏要(Want)求, 上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer ASM 390 針對此類應用(Use)提供大(Big)漏模式: 定性洩漏檢測從 100 mbar 到(Arrive) 20 mbar 開始 (進入測試模式之前) 此一(One)區間即可進行檢漏, 快速縮短檢漏時(Hour)間！
檢漏配置: 氦質譜檢漏儀 ASM 390,客制轉接頭和(And)配套密封件一(One)套,噴槍和(And)配套氦氣瓶一(One)套
檢漏方法:根據配管實際使用(Use)工況,采用(Use)檢漏儀真空模式進行檢漏,設置漏率值 1E-9mar l/s, 首先對焊接的(Of)單個(Indivual)配管進行檢漏, 配管組裝完成後, 對整個(Indivual)管線再次進行檢漏. 按照下圖組裝樣品, 在(Exist)懷疑有漏的(Of)地方噴氦氣（一(One)般需要(Want)檢漏的(Of)部位是(Yes)焊縫或連接處), 如果有漏, 檢漏儀會出(Out)現聲光報警同時(Hour)在(Exist)屏幕上(Superior)顯示當前漏率值.
1. 将制作(Do)好的(Of)各種管件加工焊接, 然後通過波紋管連接至氦氣檢漏儀 ASM 390 進行檢漏
2. 配管組裝完成後, 對整個(Indivual)管線再次進行檢漏
3.測試各個(Indivual)管路時(Hour), 可依照客戶需求将數據記錄儲存 (并可儲存至計算機内)
結論: 經過實際測試, 無論單個(Indivual)管徑是(Yes) 6’, 8’ 或 10’, 長度在(Exist) 1m~2m, 均可在(Exist) < 90 s 以(By)内達到(Arrive)客戶檢漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又準确, 大(Big)大(Big)提升了(Got it)工作(Do)效率!
到(Arrive)現場配管完成後檢漏, 所有管件組裝後, 總長度達幾十米, 與之前的(Of)檢漏時(Hour)間, 工程花費時(Hour)間可能趨近于(At)一(One)天, 但選用(Use)上(Superior)海伯東 Pfeiffer ASM 390, 在(Exist)整體抽校與檢漏時(Hour)間上(Superior), 幾乎縮短了(Got it)一(One)倍時(Hour)間！
上(Superior)海伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 技術參數
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型号 |
ASM 390 |
ASM 392 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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最小檢測漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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對氦氣的(Of)抽速 |
10 l/s |
25 l/s, 内置2台分子泵 |
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前級泵抽速 |
35 m3/h |
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進氣口最大(Big)壓力 |
20 mbar |
20 mbar |
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無校準的(Of)啓動時(Hour)間(20°C) |
2 min |
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進氣口 |
DN 40 ISO-KF |
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響應時(Hour)間 |
< 1 s |
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Interface, 選配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
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重量 |
125 kg |
130 kg |
結合了(Got it) Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的(Of)技術優勢, 上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer 推出(Out)全系列新型号氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到(Arrive)工作(Do)台式檢漏儀滿足各種不(No)同的(Of)應用(Use). 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和(And)壓差檢漏, 利用(Use)氦氣作(Do)爲(For)示蹤氣體可準确定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在(Exist)檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用(Use) >>
鑒于(At)客戶信息保密, 若您需要(Want)進一(One)步的(Of)了(Got it)解半導體用(Use)配管配件檢漏, 請參考以(By)下聯絡方式
上(Superior)海伯東: 葉小姐 台灣伯東: 王小姐
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