HVA 3位真空閘閥 真空插闆閥 21700 系列閱讀數: 11858
HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上(Superior)海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列适用(Use)于(At)刻蝕, CVD, 真空鍍膜和(And)其他(He)需要(Want)壓力控制工藝的(Of)行業. HVA 3位真空閘閥與上(Superior)遊質量流量控制器一(One)起使用(Use)時(Hour), 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也适用(Use)于(At)從粗真空到(Arrive)高真空的(Of)平穩過渡. HVA 3位真空閘閥采用(Use)兩個(Indivual)氣動電磁閥和(And)一(One)個(Indivual)空氣壓力調節器控制閥門的(Of)3種開啓方式: 一(One)個(Indivual)電磁閥控制閥門的(Of)完全關閉和(And)完全開啓, 另一(One)個(Indivual)電磁閥用(Use)于(At)控制和(And)調節閥門的(Of)任意開啓位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應用(Use)于(At)低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他(He)對清潔度要(Want)求高, 低除氣的(Of)高真空行業.
HVA 3位真空閘閥 21700 系列産品特點
1. 機械預設, 遙控過渡閥位
2. 三個(Indivual)位置都有指示器
3. 标準或者定制法蘭
4. 至少一(One)百萬使用(Use)周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術參數:
閥門材質: |
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閥門主體 |
304不(No)鏽鋼 |
焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
驅動軸和(And)驅動銷 |
硬質不(No)繡鋼 |
閥門密封方式: |
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高真空 |
氟橡膠 |
漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
差壓關閉 |
1 bar |
真空: |
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壓力範圍 |
高真空1x10-9 mbar |
漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
差壓關閉 |
1 bar (任意位置) |
開啓前最大(Big)壓力 |
≤ 30 mbar |
烘烤溫度(不(No)含電磁閥): |
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閥門主體 |
150 °c |
驅動方式 |
氣動 60 °c |
使用(Use)壽命:100,000啓閉次數 |
|
公稱通徑:DN100-320 mm |
美國(Country) HVA 真空閥門-美國(Country)最大(Big)真空閥門制造商。美國(Country)HVA原裝進口真空閥門,超過50年的(Of)高真空和(And)超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥,高真空角閥廣泛應用(Use)于(At)半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域。上(Superior)海伯東是(Yes)美國(Country)HVA 真空閥門在(Exist)中國(Country)地區唯一(One)指定總代理商。
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