Pfeiffer 普發質譜分析儀

Pfeiffer Vacuum 德國(Country)普發真空創立于(At) 1890 年迄今已有 130餘年的(Of)曆史. 上(Superior)海伯東 Pfeiffer 普發真空産品授權代理商, 銷售維修普發 Pfeiffer 真空産品 20餘年, 協助客戶選型并提供完善的(Of)售後維修服務. 擁有100% 原裝進口維修設備和(And)備品配件, 提供快速維修服務. 推薦 Pfeiffer 普發真空産品: 渦輪分子泵, 氦質譜檢漏儀, 質譜分析儀, 真空測量, 幹式渦旋泵
 

普發分子泵

Pfeiffer 普發分子泵組

普發渦旋幹泵

普發旋片泵

普發隔膜泵

渦輪分子泵
分子泵組
幹式渦旋泵
旋片真空泵
隔膜泵

氦質譜檢漏儀 ASM340

ATC 微流量檢漏儀

普發質譜分析儀

普發真空計

普發幹式真空泵

氦質譜檢漏儀
ATC 微流量檢漏
質譜分析儀
真空測量
幹式真空泵

德國(Country) Pfeiffer 質譜分析儀, 可定性定量分析氣體的(Of)組成和(And)含量, 内置 QuadstarTM 軟件, Pfeiffer 普發質譜分析儀可與熱重, 吸附儀, 催化劑評價裝置聯用(Use), 同時(Hour)測試 128 種氣體組份. 檢測極限 < 100 ppb

在(Exist)線質譜分析儀 OmniStar® / ThermoStar®

Pfeiffer 全新一(One)代高效在(Exist)線質譜分析儀, 在(Exist)壓力範圍高達 1,000 hPa 下的(Of)氣體分析儀

型号

OmniStar

ThermoStar

質量數範圍 amu

1–100 / 1–200 / 1–300

進樣管

不(No)鏽鋼毛細管

石英毛細管

氣體流速  sccm

1–2

最低檢測限 C-SEM

< 100 ppb

殘餘氣體分析儀 PrismaPro

高真空中的(Of)殘餘氣體分析儀 PrismaPro
質量數: 1-100 ,1-200, 1-300  amu
最大(Big)工作(Do)壓力 F: 5X10-4  hPa
四極杆直徑/長度: 6 /125 mm

殘餘氣體分析儀 Hicube RGA

四極杆質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的(Of)完美搭配

型号

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

質量數範圍 amu

1-100

1-200

1-300

1-100

1-200

1-300

對臨近質量數的(Of)影響

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

10 % 峰值高度的(Of)解析度

0.5 – 2.5 u

高精度氣體分析儀 HiQuad® Neo

可作(Do)爲(For)獨立設備集成在(Exist)系統中, 适用(Use)于(At)科研和(And)各類分析系統.

質量數 u

1-300

1-512 *3

檢測極限 hPa

2X10-15

1X10-15

Ar 靈敏度,最低 *1) A/hPa

2X10-4

5X10-4

高壓質譜分析儀 HPA 220

在(Exist)壓力範圍高達 50hPa 下的(Of)質譜分析儀

質量數(可選)

1-100 amu

1-200 amu

1-300 amu

質譜分析儀

QMA 220

檢測

C-SEM/Faraday

C-SEM 最小檢測極限

1X10-14 hPa

Faraday 最小檢測極限

5X10-12 hPa

 

定制殘餘氣體分析系統 OmniGrade

上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer OmniGrade 定制殘餘氣體分析系統, 适用(Use)于(At)半導體生(Born)産中的(Of) EUV 光刻, 電子顯微鏡, 超高真空 UHV 中的(Of)應用(Use). OmniGrade 在(Exist)高真空條件下使用(Use)質譜法正确測定脫氣率. 避免由于(At)分子污染導緻的(Of)影響, 達到(Arrive)更高水平的(Of)清潔度. 

鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220

在(Exist)壓力範圍高達 10 hPa 下的(Of)氣體分析儀, 在(Exist) 10-2 hPa 的(Of)壓力下, 實現了(Got it)精确到(Arrive)分鍾的(Of)工藝氣體分析

質量數(可選)amu

1-100 or 1-200

質譜分析儀

QMA 220

檢測

C-SEM/Faraday

過程壓力至(可選)

1 hPa or 10 hPa or 8hPa

在(Exist)線質譜分析儀熱催化分析

質譜分析儀客戶案例: 在(Exist)線質譜分析儀 Omnistar 對經過熱催化後的(Of)氣體 CH4, NO, CO2 等氣體進行分析. 在(Exist)催化反應裝置尾氣段接入質譜, 即可在(Exist)線實時(Hour)分析反應産物的(Of)種類及特性. 定量分析需要(Want)加配對應的(Of)标氣, 利用(Use)氦氣作(Do)爲(For)載體, 在(Exist)測試前進行标定.

在(Exist)線質譜分析儀與氣體分離測試系統聯用(Use)

質譜分析儀客戶案例: 在(Exist)線質譜分析儀 Omnistar 與氣體分離測試系統聯用(Use)進行 CH4, CO, C2H2,CO2 的(Of)快速定量分析.

在(Exist)線質譜分析儀催化劑吸附分析檢測

質譜分析儀客戶案例: 在(Exist)線質譜分析儀 Omnistar 與吸附儀聯用(Use)進行催化劑吸附分析檢測,可研究催化劑的(Of) NH3-TPD,TPR,TPO 等反應, 通過在(Exist)線質譜分析儀對吸附後的(Of)微量産物做更加清晰的(Of)定性和(And)定量分析, 明确反應的(Of)機理和(And)反應過程.

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