Pfeiffer 普發質譜分析儀
Pfeiffer Vacuum 德國(Country)普發真空創立于(At) 1890 年迄今已有 130餘年的(Of)曆史. 上(Superior)海伯東 Pfeiffer 普發真空産品授權代理商, 銷售維修普發 Pfeiffer 真空産品 20餘年, 協助客戶選型并提供完善的(Of)售後維修服務. 擁有100% 原裝進口維修設備和(And)備品配件, 提供快速維修服務. 推薦 Pfeiffer 普發真空産品: 渦輪分子泵, 氦質譜檢漏儀, 質譜分析儀, 真空測量, 幹式渦旋泵等
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
德國(Country) Pfeiffer 質譜分析儀, 可定性定量分析氣體的(Of)組成和(And)含量, 内置 QuadstarTM 軟件, Pfeiffer 普發質譜分析儀可與熱重, 吸附儀, 催化劑評價裝置聯用(Use), 同時(Hour)測試 128 種氣體組份. 檢測極限 < 100 ppb
在(Exist)線質譜分析儀 OmniStar® / ThermoStar®
Pfeiffer 全新一(One)代高效在(Exist)線質譜分析儀, 在(Exist)壓力範圍高達 1,000 hPa 下的(Of)氣體分析儀
型号 |
OmniStar |
ThermoStar |
質量數範圍 amu |
1–100 / 1–200 / 1–300 |
|
進樣管 |
不(No)鏽鋼毛細管 |
石英毛細管 |
氣體流速 sccm |
1–2 |
|
最低檢測限 C-SEM |
< 100 ppb |
殘餘氣體分析儀 PrismaPro
高真空中的(Of)殘餘氣體分析儀 PrismaPro |
|
殘餘氣體分析儀 Hicube RGA
四極杆質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的(Of)完美搭配
型号 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
質量數範圍 amu |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
對臨近質量數的(Of)影響 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
10 % 峰值高度的(Of)解析度 |
0.5 – 2.5 u |
高精度氣體分析儀 HiQuad® Neo
可作(Do)爲(For)獨立設備集成在(Exist)系統中, 适用(Use)于(At)科研和(And)各類分析系統.
質量數 u |
1-300 |
1-512 *3 |
檢測極限 hPa |
2X10-15 |
1X10-15 |
Ar 靈敏度,最低 *1) A/hPa |
2X10-4 |
5X10-4 |
高壓質譜分析儀 HPA 220
在(Exist)壓力範圍高達 50hPa 下的(Of)質譜分析儀
質量數(可選) |
1-100 amu |
1-200 amu |
1-300 amu |
|||
---|---|---|---|---|---|---|
質譜分析儀 |
QMA 220 |
|||||
檢測 |
C-SEM/Faraday |
|||||
C-SEM 最小檢測極限 |
1X10-14 hPa |
|||||
Faraday 最小檢測極限 |
5X10-12 hPa |
定制殘餘氣體分析系統 OmniGrade
上(Superior)海伯東德國(Country) Pfeiffer OmniGrade 定制殘餘氣體分析系統, 适用(Use)于(At)半導體生(Born)産中的(Of) EUV 光刻, 電子顯微鏡, 超高真空 UHV 中的(Of)應用(Use). OmniGrade 在(Exist)高真空條件下使用(Use)質譜法正确測定脫氣率. 避免由于(At)分子污染導緻的(Of)影響, 達到(Arrive)更高水平的(Of)清潔度.
鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220
在(Exist)壓力範圍高達 10 hPa 下的(Of)氣體分析儀, 在(Exist) 10-2 hPa 的(Of)壓力下, 實現了(Got it)精确到(Arrive)分鍾的(Of)工藝氣體分析
質量數(可選)amu |
1-100 or 1-200 |
質譜分析儀 |
QMA 220 |
檢測 |
C-SEM/Faraday |
過程壓力至(可選) |
1 hPa or 10 hPa or 8hPa |
在(Exist)線質譜分析儀熱催化分析
質譜分析儀客戶案例: 在(Exist)線質譜分析儀 Omnistar 對經過熱催化後的(Of)氣體 CH4, NO, CO2 等氣體進行分析. 在(Exist)催化反應裝置尾氣段接入質譜, 即可在(Exist)線實時(Hour)分析反應産物的(Of)種類及特性. 定量分析需要(Want)加配對應的(Of)标氣, 利用(Use)氦氣作(Do)爲(For)載體, 在(Exist)測試前進行标定.
在(Exist)線質譜分析儀與氣體分離測試系統聯用(Use)
質譜分析儀客戶案例: 在(Exist)線質譜分析儀 Omnistar 與氣體分離測試系統聯用(Use)進行 CH4, CO, C2H2,CO2 的(Of)快速定量分析.
在(Exist)線質譜分析儀催化劑吸附分析檢測
質譜分析儀客戶案例: 在(Exist)線質譜分析儀 Omnistar 與吸附儀聯用(Use)進行催化劑吸附分析檢測,可研究催化劑的(Of) NH3-TPD,TPR,TPO 等反應, 通過在(Exist)線質譜分析儀對吸附後的(Of)微量産物做更加清晰的(Of)定性和(And)定量分析, 明确反應的(Of)機理和(And)反應過程.