pfeiffer 氦質譜檢漏儀

檢漏模式

最小漏率 mbar l/s

吸槍流量 sccm

重量 kg

響應時(Hour)間 s

吸槍

1E-7

300 ± 10%

22

< 1 s

符合人(People)體工學設計的(Of)移動型氦質譜檢漏儀, 強大(Big)的(Of)抽氣能力
檢漏模式: 真空 / 吸槍
最小漏率 5E-13 Pa m3/s
氦氣抽速 10 / 25 l/s
前級泵抽速 35 m3/h

檢漏模式

最小漏率 Pa m3/s

氦氣抽速 l/s

前級泵抽速 m3/h

進氣口最大(Big)壓力 hPa

真空/吸槍

5E-13

2.5

15

25

便攜式氦質譜檢漏儀, 重量僅 21 kg, 通用(Use)電壓
檢漏模式: 真空 / 吸槍
最小漏率 5E-13 Pa m3/s
氦氣抽速 1.1 l/s
前級泵抽速 1.7 m3/h

檢漏模式

高靈敏度模式

常規模式

大(Big)漏模式

吸槍檢漏

測量範圍 mbar l/s

5E-12

E-10

3.5E-8

1.5E-8

初檢壓力 mbar

0.2

1

18

--

氦氣抽速 l/s

6

1.8

依據前級泵抽速

--

檢漏模式

最小漏率 Pa m3/s

氦氣抽速 l/s

前級泵抽速 m3/h
(可選雙前級泵)

進氣口最大(Big)壓力 hPa

真空/吸槍

1E-12

4

25/50

100

檢漏模式

最小漏率 Pa m3/s

氦氣抽速 l/s

前級泵抽速 m3/h

進氣口最大(Big)壓力 hPa

真空/吸槍

5E-13

4.4

20 / 25

6

檢漏模式

最小漏率 Pa m3/s

氦氣抽速 l/s

前級泵抽速 m3/h

進氣口最大(Big)壓力 hPa

吸槍

1E-8

-

-

檢漏模式

最小漏率 Pa m3/s

氦氣抽速 l/s

前級泵抽速 m3/h

進氣口最大(Big)壓力 hPa

吸槍

5E-8

-

-

-